请问Metal-OganicSource是什么意思啊?LDE制程中用到的。
金属有机源；metal organic source；MO source 含有碳—金属键，适于金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）技术应用的一类金属有机化合物，又称MO源。制备方法有：（1）金属卤化物和格利雅试剂反应；（2）金属卤化物和金属有机化合物反应；（3）金属合金和烷基卤化物反应；（4）金属和格氏试剂进行电化学反应。
金属有机气相沉积原料（MO Source）是指在金属有机化学气相沉积（MOCVD）过程中使用的化学品，主要用于制造半导体器件和太阳能电池。这些原料通常包括金属有机化合物，它们在高温下挥发，并与气体反应生成所需的金属薄膜或氧化物薄膜。
三甲基镓的安全防护
一般是用干粉、干砂、二氧化碳和砾石来控制火势，防止火灾蔓延到别处，直至其完全燃烧掉。绝不可用水、泡沫和卤代烃灭火剂。当三甲基镓泄漏时，首先要切断所有火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂洗刷，或用干燥砂土吸收后拿到空旷地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
三甲基镓有毒三乙基镓没有毒，三甲基镓常温常压下为无色透明有毒液体，燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿，三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。
三甲基镓在常温常压下为无色透明有毒液体。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。与水激烈反应生成Me2GaOH和[（Me2Ga）2O]X，并放出甲烷气。
用三甲基铝与三氯化镓反应可生成三甲基镓和（CH3）2AlCl2。经蒸馏、加KF，再用物化方法提纯可得9999%产品。
℃液体密度（15℃，100kPa）： 1151 kg/m气体密度： 0 kg/m。蒸气压（-10℃）： 1kPa（10℃）： 17kPa（30℃）： 30kPa毒性三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。