crb2的密度（kmtbcr26密度）

硼化物靶材及相关参数

1、维氏硬度：25 GpaW2B5靶材具有较高的熔点和硬度，同时电阻率范围较广，使得它在高温、高真空等环境下具有优异的稳定性和耐磨性，适用于制备高性能的涂层和薄膜材料，特别是在硬质合金和切削工具领域有重要应用。综上所述，硼化物靶材具有多种优异的物理和化学性质，在各个领域都有广泛的应用前景。

2、纯度标准：根据应用领域不同，氧化硼靶材有不同的纯度等级要求，如半导体行业通常要求纯度达到999%甚至更高。密度标准：对于氧化硼靶材的密度也有一定标准范围，以确保其在镀膜过程中的性能稳定性，一般结晶态氧化硼靶材密度在46g/ml左右。

3、硼化物溅射靶材：如Cr5BHfBMo2BNbB等。硬质合金溅射靶材：如SiC、WC、AlCu、NiCr、CoFe等。氮化物溅射靶材：如AlN、GaN、HfN、NbN、Si3NTICN、TaN、TiN、ZrN等。