1、在常温常压下,TMAH为无色透明的晶体,每克晶体含有5个结晶水分子,具有很强的吸湿性。TMAH在水中溶解度较高,溶解过程中会释放热量,溶液呈现强烈的碱性,具有滑腻感。在高温下,TMAH会发生分解。在使用TMAH时,应避免与强酸、氧化剂或铵盐接触,因为它们会与TMAH产生强烈的化学反应。
2、TMAH水溶液的主要成分是水,占99%以上。它被广泛用于光刻工艺中的显影。不管是I-线、248nm、193nm、193nm浸没式或是EUV,都是使用TMAH水溶液做显影液。有时为了避免光刻胶线条的倒塌,还可以在TMAH水溶液中添加很少量的表面活化剂。
3、简介:1965年到1970年 天津大学 大本 1970年毕业至今, 天津大学电子信息工程学院 ,始终从事微电子技术专业教学与科研工作。现任天津大学电子信息工程学院教授、博士生导师、天津大学ASIC设计中心主任。
催化剂:四甲基氢氧化铵在有机硅合成方面被广泛用作相转移催化剂,如作二甲基硅油、苯甲基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有硅模塑料、有机硅树脂和硅橡胶等的催化剂;可作为橡胶防老剂中间体的缩合催化剂;作沸石、分子筛合成的催化剂。
四甲基氢氧化铵在有机硅领域中扮演着催化剂的角色,如用于二甲基硅油、氨基硅油、苯甲基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有机硅模塑料、有机硅树脂、硅橡胶等产品的生产。在分析领域,它作为极谱试剂应用广泛。此外,它在产品提纯过程中被用作无灰碱,以沉淀各种金属元素。
在分析方面,四甲基氢氧化铵作为极谱试剂,在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素,在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。四甲基氢氧化铵优点是它具有强碱性,在不超过分解点的温度下稳定,当催化完毕后很容易除掉,不留任何残渣,对有机硅产品无污染。
氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化铵等。季铵碱: 一类通式为R4NOH的化合物,式中R”为四个相同或不相同的脂烃基或芳烃基。分子结构与氢氧化铵相似,可看作是后者“NH4离子中氢被取代而得的衍生物,具强碱性,易潮解,易溶于水并发生电离。最简单的季铵碱氢氧化四甲铵加热时分解为三甲胺与甲醇。
铵碱实际上是生物碱,常见的是季铵碱 : 四甲基氢氧化铵 化学式:(CH3)4NOH 透明液体 .氨水:化学式:NH3·H2O(或NH4OH),他是一般的无机碱。
季铵碱碱性最强原因:碱性相当于无机碱,所以季铵碱碱性最强。季铵碱是一种化学物质,分子式R4NOH。一类通式为R4NOH的化合物,式中R为四个相同或不相同的脂烃基或芳烃基。分子结构与氢氧化铵相似,可看作是后者NH4+中氢被取代而得的衍生物,具强碱性,易潮解,易溶于水并发生100%电离。
成分:TMAH主要由四甲基氢氧化铵组成,含有碳、氢、氮、氧元素。它是一种有机碱,具有较高的稳定性和良好的溶解性。性质: 化学性质:TMAH具有碱性,可以与酸发生中和反应。 物理性质:TMAH为无色透明液体,具有较低的熔点和沸点。它在水中的溶解度较高,易于稀释。
TMAH,全称为四甲基氢氧化氨,分子式为(CH3)4NOH,是一种无色结晶物质,常常带有3,5等结晶水,极易吸湿并在空气中吸收二氧化碳。在130℃时,它会分解为甲醇和三甲胺。TMAH的典型浓度为10%和25%的水溶液,无色无味。在半导体工艺中,TMAH的独特性质使其成为关键的清洗剂。
TMAH,即四甲基氢氧化铵,是一个在半导体工业中广泛应用的化学物质。它的化学名称为四甲基铵氢氧化物。分子式为(CH3)4NOH,分子量为91。在常温常压下,TMAH为无色透明的晶体,每克晶体含有5个结晶水分子,具有很强的吸湿性。